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I substrati di zaffiro appartengono ad uno degli aspetti più significativi dell'applicazione costruttiva di questo materiale. Sono utilizzati per l'epitassia di film semiconduttori come Si, GaN, AlGaN e per la realizzazione di circuiti integrati.
I substrati di zaffiro sono inerti, lavorano ad alte temperature e carichi meccanici e possono essere ottenuti in grandi dimensioni. Pertanto, vengono utilizzati anche in quei casi in cui i parametri reticolari non coincidono completamente con i parametri delle strutture eteroepitassiali.
Sebbene ci siano molti substrati che sono considerati potenziali materiali per sostituire il substrato di zaffiro, è ancora dominato nel mercato dei substrati (per la crescita di GaN LED), a causa del suo prezzo ragionevole e della discrepanza relativamente bassa.
Zhongju è in grado di elaborare substrati in base alle esigenze del cliente. Attualmente, le nostre produzioni di substrati in zaffiro variano da 2 a 12 pollici con alta qualità e orientamento accurato.
Tabella 1 Dimensione dei substrati
|
2 inches Substrates |
4 inches Substrates |
6 inches Substrates |
Diameter (mm) |
50.9±0.1 |
100.1±0.1 |
150.1±0.1 |
Primary Flat Length (mm) |
16±1 |
31±1 |
47.5±1 |
Tabella 2 Specifiche dei substrati
Material |
High purity single crystal sapphire |
Surface Orientation |
C-plane ± 0.1° |
Primary Flat Orientation |
A-plane ± 0.5° |
Broken edge length |
≤3mm |
Crack |
0 |
Defect |
No inclusion,twin,or boundary |
Bubble and cloud |
Dense bubbles, clouds, and scattered bubble marked and counted as defects by length |
EPD |
≤1000 pits/cm2 |
Elenco prodotti : Zaffiro Substrato > Substrato di zaffiro da 6 pollici
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